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海德漢HEIDENHAIN光柵尺LS-187C長1840mm LS 187 增量式直線光柵尺，測量步距為0.5 µm 具有確定溫度特性 能承受高振動(dòng)頻率 支持水平安裝 單場掃描 07.08.2009 應(yīng)用 numerically controlled machine tools 機(jī)械結(jié)構(gòu) 全尺寸 Measuring procedures 增量式